为配合2024.11.29(星期五)AEMD平台内部培训工作,届时平台部分资源和操作将受到影响,具体安排如下:
为了展现微纳加工小之极限的魅力,体现大道致远的情怀,促进微纳加工与测试技术的发展,值此先进电子材料与器件(AEMD)平台成立十周年之际,AEMD平台开展了“砺十年·集大成··‘芯’未来”——AEMD平台用户成果展大赛,并于11月26日进行了颁奖仪式。
AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积PECVD (设备编号:WF2OCVD01)设备已完成设备维修,恢复对外开放使用。
为了满足学校广大师生的科研需求,AEMD平台新上线二、三期设备:SUSS MA8/BA8双面对准光刻机、SUSS 高性能涂胶机、SUSS 高性能显影机、VHF刻蚀系统、激光诱导深度刻蚀、高精度微喷墨打印系统,即日起开放运行,各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用,特此公告。