为了展现微纳加工小之极限的魅力,体现大道致远的情怀,促进微纳加工与测试技术的发展,值此先进电子材料与器件(AEMD)平台成立十周年之际,AEMD平台开展了“砺十年·集大成··‘芯’未来”——AEMD平台用户成果展大赛,并于11月26日进行了颁奖仪式。
AEMD平台西区等离子增强化学气相沉积PECVD (设备编号:WF2OCVD01)设备已完成设备维修,恢复对外开放使用。
为了满足学校广大师生的科研需求,AEMD平台新上线二、三期设备:SUSS MA8/BA8双面对准光刻机、SUSS 高性能涂胶机、SUSS 高性能显影机、VHF刻蚀系统、激光诱导深度刻蚀、高精度微喷墨打印系统,即日起开放运行,各位用户老师、同学可在AEMD预约系统里预约使用,特此公告。
AEMD平台西区PEALD热型/等离子体增强型原子层沉积设备(设备编号:WF1BALD01)设备维修,现暂停使用。相关已预约的实验全部取消,待设备恢复后需重新预约实验。设备恢复后会及时通知各位用户老师及同学。