
硅基光电子器件因其工艺与传统CMOS工艺兼容,可实现低成本的光电子器件大规模集成,而成为光通讯学术界、产业界普遍关注的研究热点。其中,电光调制器是硅基集成光电子器件中的关键器件之一。基于谐振腔结构的电光调制器因在集成面积及功耗方面具有相对优势而备受关注。

2017年12月4-8日,先进电子材料与器件平台与荷兰PhoeniX Software在上海交通大学闵行校区成功举办集成光子芯片设计培训--从设计意图到芯片成品 。 本次培训为工业界和学术界的设计人员提供国际最新的光子集成的技术,以及从设计思路,到仿真与版图,再到流片测试的实际经验。

2017年8月7日,悉尼大学教授、CUDOS中心主任Benjamin Eggleton先生在AEMD平台主任苏翼凯教授陪同下至AEMD平台就平台现有设备、工艺能力展开交流。随后平台高级工艺开发瞿敏妮老师就净化室整体规划、设备配置以及运行使用情况进行了介绍。

2016年11月25日,蔡司显微镜销售部首席执行官兼首席财务官Justus Felix Wehmer先生一行五人光临AEMD平台参观交流。平台常务副主任程秀兰老师、平台集成工程师权雪玲老师和瞿敏妮老师以及平台净化室管理王英老师四人就平台发展以及平台现状向对方简单介绍。

2016年11月27日,中国科学院上海微系统与信息技术研究所甘甫烷研究员、Acacia通信公司Long Chen经理、Archocom技术公司David Li教授、上海波汇科技股份有限公司对外研究合作部周军经理一行在陈建平教授陪同下至AEMD平台参观交流,平台高级工艺开发权雪玲老师就净化室整体规划、设备配置以及运行使用情况进行了介绍。

上海交通大学先进电子材料与器件校级平台(简称AEMD平台)校内推介暨用户交流会于2016年10月25日在闵行校区微电子大楼顺利召开。 AEMD平台成立于2014年11月,致力于先进微纳材料与器件加工科研服务的校级公共平台。目前已有100余位校内教师使用平台相关设备开展其科研工作,并取得较丰硕的研究成果。